[发明专利]一种新型硅基电光调制器及其制备工艺在审
| 申请号： | 202110494450.0 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113281919A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 崔积适 | 申请（专利权）人： | 三明学院 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 杨唯 |
| 地址： | 365000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种新型硅基电光调制器及其制备工艺，涉及电光调制器领域。制备工艺包括在基底蚀刻形成硅波导区和slab区，硅波导区的两侧均设置有slab区，两侧的slab区均与硅波导区相连；对slab区进行氧原子注入并退火。这使新型硅基电光调制器通过在硅结构中引入梯度应力而打破了中心反演对称结构对硅基电光调制器的功能限制，大大提高了硅基调制器的调制效率，有效减小了器件的尺寸、提高了带宽、降低了插损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 电光 调制器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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