[发明专利]一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法有效
| 申请号： | 202110494468.0 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113213972B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 欧阳鹏;贺贤汉;葛荘;王斌;张进;张恩荣 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C04B37/02 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 224200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域。一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法，包括以下步骤：步骤一：氮化铝陶瓷表面改性层制备，制备表面改性溶液，将氮化铝陶瓷浸入到表面改性溶液中，充分润湿后烘干；步骤二：表面改性层固化，将氮化铝陶瓷置于马弗炉中烘烤，在氮化铝陶瓷表面形成均匀的固化改性层；步骤三：钎焊焊接，铝合金金属浆料制备，将浆料涂覆在具有固化改性层的氮化铝陶瓷上，烘干，再与高纯铝箔进行钎焊焊接，制备氮化铝覆铝陶瓷衬板。本发明克服了低温铝钎焊与氮化铝陶瓷润湿不良的难题，采用钎焊烧结成型，保持高纯铝面成分纯度，可以大大降低制造成本，且良率高，易于操作，易于成型，可批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 铝覆铝 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
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