[发明专利]一种CoZrTa合金靶坯及靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110498032.9 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113235058B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡新志;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C1/02;C22C19/07;B22D27/04;C22C45/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种CoZrTa合金靶坯及靶材的制备方法，涉及靶材制备领域。本发明提供了一种CoZrTa合金靶坯的制备方法，包括如下步骤：(1)按照配比称量需要的原料，原料包含Co片、Ta片和Zr颗粒，按照层层叠加的方式，底层和最上层为Co片，中间Ta片层和Zr颗粒层不能为相邻层，将原料置于水冷铜坩埚内；(2)将坩埚抽真空后增加功率，观察到熔体内无不溶物翻滚时，保持功率稳定，进行磁悬浮熔炼后保温，得到熔体；(3)将步骤(2)得到的熔体浇铸到模具内成型，初加工和轧制后得到所述CoZrTa合金。本发明与传统工艺相比，生产效率显著提高，靶材成本下降，当靶材厚度为4mm时，高透磁率达到65％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cozrta 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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