[发明专利]等离子清洗设备和方法及超声波指纹传感器和电子设备在审
| 申请号： | 202110510766.4 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113299533A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘宣宣 | 申请（专利权）人： | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/02;G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 朱鸿雁 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子清洗设备和方法及超声波指纹传感器和电子设备，该等离子清洗设备包括腔体、射频发生装置、供气装置、抽气装置和控制器，腔体限定有真空腔和与真空腔连通的进气口和排气口；射频发生装置用于产生分布在真空腔内的高频交变电场；供气装置用于提供偶联剂气体至真空腔；抽气装置用于将真空腔内的废气排出；控制器用于根据清洗指令控制抽气装置启动，在真空腔内达到预设真空度时，控制供气装置提供偶联剂气体至真空腔并控制射频发生装置启动，以使得真空腔内的偶联剂气体形成等离子体。该等离子清洗设备和方法，在对基板进行等离子清洗的同时在基板上沉积偶联剂，可以增加基板与聚合物之间的附着力，降低了工艺难度，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 设备 方法 超声波 指纹 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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