[发明专利]一种用于电子高纯气体的离心压缩机有效
| 申请号： | 202110511118.0 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113107872B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 杜晓辉;陶刚义 | 申请（专利权）人： | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D17/12 | 分类号： | F04D17/12;F04D29/10;F04D29/62;F04D29/00;F04D29/02;F04D25/06;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 010499 内蒙古自治区鄂*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩机，包括压缩机主体，压缩机主体具有进气口和排气口；压缩机主体的转子两端转动连接有支撑轴承；转子两端分别套设有轴密封机构，轴密封机构位于支撑轴承和压缩机主体的端头外侧壁之间；轴密封机构为多级串联的干气密封结构。本发明在现有离心压缩机的基础结构上，改进轴密封机构，使用多级串联的密封结构，通入不同的密封气体，保证密封性能良好，使得高纯氢气无二次污染，保证了多晶硅产品生产的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 高纯 气体 离心 压缩机 | ||
【主权项】：
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