[发明专利]一种复杂结构降压元件内外表面强化方法

摘要

一种复杂结构降压元件内外表面强化方法，以含Fe、Cr、Al、Ti及Si的有机化合物为前驱体，以去离子水、过氧化氢、氧气、臭氧或羟基甲烷为氧源，采用原子层沉积技术，高真空条件下在复杂结构降压原件内外表面沉积厚度为5μm以上的单层或双层氧化物复合结构薄膜。依据原子层沉积技术绕镀性卓越、膜层均匀性优异的特点，并结合独特的膜层结构设计和合理的工艺参数和精确的流程控制，成功制备出了超过5μm的超厚单一氧化物膜层或包含两相氧化物的复合膜层。这种氧化物复合膜层不仅大幅提升了复杂结构降压元件的耐冲蚀、耐气蚀及耐磨性。