[发明专利]抗激光损伤混杂VOx有效

专利信息
申请号: 202110516132.X 申请日: 2021-05-12
公开(公告)号: CN113235042B 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 朱嘉琦;李坤;杨磊;夏菲;徐梁格;滕祥青;杨锦业;张智博;宋梓诚;张锐聪;李佳峻 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 侯静
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 抗激光损伤混杂VOx相的制备方法,本发明属于功能薄膜材料,它为了解决现有采用不同工艺制备的氧化钒薄膜的光学调制性能参差不齐,极大的限制了薄膜的激光防护效能的问题。制备方法:一、超声清洗基底材料和靶材;二、安装V2O3靶材;三、真空室抽气;四、设置沉积温度,采用直流偏压反溅清洗;五、当等离子亮起后降低气压至0.5~1.5Pa,同时通入0.3~0.8sccm的O2,设置偏压为‑100~‑140V,进行预溅射清洁靶材表面,然后打开挡板,沉积薄膜。本发明还可采用退火方法。本发明利用射频磁控溅射工艺,通过控制沉积工艺参数,制备了主要成分为VO2和V2O5的高VO2比例混杂晶态VOx相薄膜。
搜索关键词: 激光 损伤 混杂 vo base sub
【主权项】:
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