[发明专利]半导体清洗设备及其清洗液分配机构有效
| 申请号： | 202110521879.4 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113198785B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 赵艳霞 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其清洗液分配机构。该清洗液分配机构包括：主管路组件及多个支管路组件，多个支管路组件与多个工艺腔室一一对应设置；主管路组件包括进液管路及出液管路，进液管路与半导体清洗设备的清洗液供给装置连通，进液管路与出液管路可通断连接；每个支管路组件均与进液管路及出液管路可通断连接，并且与对应的工艺腔室连接，支管路组件用于可选择的与进液管路及工艺腔室连通，或者与进液管路及出液管路连通。本申请实施例实现了多个工艺腔室同时工艺或单独工艺时，进液管路及各支管路组件的流量及压力均匀稳定，从而大幅提高应用本申请实施例的半导体清洗设备的工艺良率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 及其 分配 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110521879.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
