[发明专利]一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法有效
| 申请号： | 202110524239.9 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113215542B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 骆树立;李庆丰;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 | 申请（专利权）人： | 河北恒博新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H05B1/02 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 陈跃心 |
| 地址： | 057250 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸ITO靶材的解绑装置和方法，解绑装置包括水平放置的耐高温支架，耐高温支架上设置有保温垫，保温垫上放置有ITO靶材在上、铜背板在下的绑定组合体，绑定组合体中铜背板的侧面和铜背板上表面未被ITO靶材覆盖部分均覆盖有反射层，耐高温支架上设置有将保温垫和绑定组合体罩住的保温罩，ITO靶材上方垂直设置有温度传感器，保温罩内侧顶端均布排列多个红外加热器，温度传感器穿过保温罩顶端后连接有温度控制器，本发明利用红外加热器使得ITO靶材先接受热辐射升温膨胀，铜背板接受ITO靶材传导过来的热量后才发生膨胀，避免了ITO靶材在解绑过程中遭受过大的拉应力而发生断裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 ito 装置 方法 | ||
【主权项】：
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