[发明专利]基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法在审
| 申请号： | 202110534071.X | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113311195A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 陈超;黄日鹏;朱伟华;李子烨;吴正扬;张俐楠 | 申请（专利权）人： | 浙江工商大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法，按如下步骤：步骤一，将一片尺寸在微纳米范围内的硅片置于高精度显微镜下；步骤二，将硅片的中部固定，调节飞秒激光性能参数；在硅片的其中一侧进行探针成型；步骤三，进行飞秒激光照射硅片的同时，在硅片左右两侧施加水平电场；步骤四，电场与飞秒激光耦合作用一段时间后，成型出微悬臂梁探针。本发明利用电场与飞秒激光耦合作用，在飞秒激光照射硅悬臂梁表面的同时，于硅悬臂梁的上下表面施加一定强度的电场来提高原子诱导力，使得成型出的探针尺寸精度大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电场 激光 耦合 作用 悬臂梁 探针 成型 方法 | ||
【主权项】：
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