[发明专利]一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110537525.9 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113149611A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张来稳;邵学亮;李开杰;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/626;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法，属于靶材回收及制备领域。本发明所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法先将ITO废靶坯粉碎至特定颗粒尺寸，随后经过热处理去除粉末中多余的添加剂杂质，最后与球磨助剂按比例混合后进行球磨制粉，所得产品颗粒均匀且密度较高；所述方法无需添加额外新粉原料，操作步骤简单，设备要求低，生产效率及得率高，制备成本低廉。本发明还公开了由所述方法制备的ITO粉末；本发明还公开了一种ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 废靶坯 回收 制备 粉末 及其 方法 | ||
【主权项】：
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