[发明专利]菲林片、金属网格制备方法及金属网格在审
| 申请号： | 202110544125.0 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113176702A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 苏伟;胡守荣;叶宗和 | 申请（专利权）人： | 深圳市志凌伟业光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/70 | 分类号： | G03F1/70 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 郝怀庆 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种菲林片、金属网格制备方法及金属网格，其中，菲林片，包括：菲林片本体；以及网格层，所述网格层包括设于所述菲林片本体的表面的线路部分和网格部分，所述线路部分包括多条线路、由多条所述线路相交形成的多个交点、及设于所述线路上的断点，所述网格部分包括多个由所述线路围合形成的网格，所述断点数量为多个，多个所述断点呈折线状排布，所述交点周围的所述断点数量为3个以下。本发明技术方案能够消除金属网格透明导电膜的蚀刻痕，提示显示效果。 | ||
| 搜索关键词： | 菲林片 金属 网格 制备 方法 | ||
【主权项】：
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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