[发明专利]一种基于相变材料的空间光型电光调制器件及其制造方法有效
| 申请号： | 202110545446.2 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113376870B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 刘孝凯;胡鑫;陈迎鑫;张鉴;张雪峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 刘正君 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于相变材料的空间光型电光调制器件及其制造方法，该器件由衬底、下电极层、相变层、上电极层和覆盖层多层复合结构构成，其中上下电极层分别包含规则排列的N位和M位金属微纳光栅，作为器件的电极和光场调控单元。通过控制上下电极偏压，使相变材料形成不同晶化程度的相变区域，导致光学介电常数发生显著改变，从而对器件的反射光与共振吸收峰进行动态电致调制。本发明的器件可实现具有N×M面阵单元的空间光调制，工作频段位于3~10微米的中红外波段。相变材料在非晶态时，器件能够实现接近100%的完美吸收；非晶态‑晶态之间转变时，实现约80%的调制深度。不仅仅可以实现完美吸收峰的动态调控，而且还能够对空间入射光具有动态幅度调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相变 材料 空间 电光 调制 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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