[发明专利]一种金属表面镀制DLC薄膜的方法及其应用在审
申请号: | 202110545500.3 | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN113403611A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 祝闻;郭金滔;苏志军;李文芳;罗有斌;易爱华;廖忠淼;李康;陈肯 | 申请(专利权)人: | 东莞理工学院 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/27 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 肖云 |
地址: | 523808 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种金属表面镀制DLC薄膜的方法及其应用。所述方法包括如下步骤:对基体材料进行预处理;采用微波等离子体化学气相沉积法在基体材料表面镀制类金刚石薄膜。通过本发明方案制备的表面镀制DLC薄膜的金属,工艺简单、成本低廉,在骨科植入材料、功能性材料、生物活性材料等领域均具有广泛的应用前景,适用于批量及工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属表面 dlc 薄膜 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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