[发明专利]一种硅晶片批量抛光设备在审
| 申请号： | 202110546382.8 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113275988A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 周勤 | 申请（专利权）人： | 周勤 |
| 主分类号： | B24B21/04 | 分类号： | B24B21/04;B24B21/18;B24B9/06;B24B47/12;B24B55/03;B24B55/06 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 236200 安徽省阜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体硅晶片技术领域，具体的说是一种硅晶片批量抛光设备，包括夹持部件、打磨部件、动力部件和安装架；本发明通过控制一号电动推杆缩回，进而带动上夹体转动，进而使得上夹体张开，随后将待加工的硅晶片放置在所述支撑条上，然后控制一号电动推杆伸出，进而带动上夹体转动，进而实现了对硅晶片的夹持，然后动力部件带动一号带轮转动，进而在二号带轮的配合下使得打磨带运动，打磨带对硅晶片打磨的过程中硅晶片受到合力使得硅晶片在支撑条与夹紧条形成环状结构内自行转动，进而在硅晶片自行转动的过程中对整个面进行抛光，同时实现了对多个硅晶片进行抛光，进而实现了对硅晶片进行批量抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 批量 抛光 设备 | ||
【主权项】：
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