[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用有效
| 申请号： | 202110548868.5 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113285351B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 寇君龙;饶志龙 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括：衬底；第一谐振器，设置在所述衬底上，所述第一谐振器包括第一谐振腔；第二谐振器，设置在所述第一谐振器上，所述第二谐振器包括第二谐振腔，所述第二谐振腔的谐振频率大于所述第一谐振腔的谐振频率，所述第一谐振腔和所述第二谐振腔的材料不同；其中，所述第二谐振腔内包括有源层，所述有源层用于发射第一光束；其中，部分所述第一光束垂直耦合至所述第一谐振腔内，形成第二光束；所述第一光束的波长和所述第二光束的波长不同，所述第一光束和所述第二光束通过所述第二谐振器出射。本发明提出的垂直腔面发射激光器可以提高调制带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
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