[发明专利]一种能谱仪的校准方法及元素测试方法有效
| 申请号： | 202110551938.2 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113340922B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 吴宗芹;张笑;李国梁;魏强民;佘晓羽;锁志勇;卢世峰 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;G01T1/36;G01T7/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种能谱仪的校准及测试方法。所述校准方法包括以下步骤：提供含有目标元素的校准样品；使用分析设备对所述校准样品进行测量，以得到目标元素的含量‑深度关系曲线，作为校准曲线；使用能谱仪对所述校准样品进行测量，以得到目标元素的含量‑深度关系曲线，作为待校准曲线；通过所述校准曲线对所述待校准曲线进行校准。本申请通过分析设备测量得到校准曲线，对能谱仪的测量曲线进行校准，使得能谱仪能够对元素进行准确的定量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能谱仪 校准 方法 元素 测试 | ||
【主权项】：
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