[发明专利]一种压电薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110552192.7 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113452339A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 鲍景富;李亚伟;梁起;吴兆辉;龚柯源;石斌 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于体声波谐振器技术领域，针对压电薄膜体声波谐振器的杂散模态抑制问题，具体提出一种压电薄膜体声波谐振器。本发明通过在传统压电薄膜体声波谐振器的电极末端增加方形金属块，并在方形金属块上镀密度更大的金属构成多层金属块结构作为杂散抑制结构，有效抑制杂散模态的产生；并且多层金属块结构通过改变该区域内压电薄膜内部的声波传播速度，使得金属块所在区域与电极区域的压电薄膜具有不同的声波传播速度，形成声学反射区域，将电极末端区域泄露的能量反射回收，最大效率地激发主模能量，并减小损耗提升Q值；综上，本发明能够在不影响谐振器机电耦合系数的前提下有效抑制谐振器的杂散模态，提升谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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