[发明专利]一种合束装置、激光加工设备和激光退火方法在审
| 申请号： | 202110552574.X | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113422296A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘金彪;罗军;李俊峰;贺晓彬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/00;H01S3/23;H01S3/00;H01L21/67;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种合束装置、激光加工设备和激光退火方法，涉及激光退火技术领域，用于降低激光退火时工艺区和非工艺区之间热预算差。所述合束装置用于对波长不同的预热光束和工艺光束进行合束，包括光束整形元件和半透半反光学元件；所述光束整形元件用于将预热光束转换为环形光束，并向所述半透半反光学元件提供所述环形光束；所述半透半反光学元件用于反射所述环形光束和透射所述工艺光束，使得所述环形光束套设所述工艺光束上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 束装 激光 加工 设备 退火 方法 | ||
【主权项】：
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