[发明专利]一种智能可控的线性蒸发源有效
| 申请号： | 202110555293.X | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113215547B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 李成林;郝明;杜雪峰 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种智能可控的线性蒸发源，主要包括二级坩埚、送丝机构和一级坩埚；二级坩埚为长条槽状体，二级坩埚的长度方向与镀膜幅宽方向一致；沿镀膜幅宽方向并排布置有2个以上的送丝机构，每个送丝机构的下方均设置有1个一级坩埚；二级坩埚位于一级坩埚的下方；一级坩埚的底部设置有熔液流管，熔液流管的另一端与二级坩埚侧壁相通，在熔液流管上设置有流量控制阀；二级坩埚上设置有2组以上的电极，二级坩埚上不同段的加热可进行分段控制；二级坩埚中的加热温度比一级坩埚中的加热温度高100‑400℃。一级坩埚将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，并通过熔液流管将熔液注入二级坩埚；熔液在二级坩埚中加热蒸发实现蒸发镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 可控 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
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