[发明专利]一种适用于芯片检测的温控滑台装置有效
申请号: | 202110557397.4 | 申请日: | 2021-05-21 |
公开(公告)号: | CN113296558B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 王宏伟;范东雨;顾陈;蔡亦梅;李洁昆;蒋鹏翀;任玮鹏;任鲁风 | 申请(专利权)人: | 宁波胤瑞生物医学仪器有限责任公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;G01N21/01 |
代理公司: | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人: | 姜艳华 |
地址: | 315300 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种适用于芯片检测的温控滑台装置,包括,平台架,滑台,芯片温控装置,芯片观测装置,中控模块,芯片温控装置包括,温控转接板、旋转电机、芯片压盖、加热装置、导热片、制冷片;温控转接板其上设置有用以固定芯片的芯片定位片,所述芯片定位片上设有温度检测器和压力检测器。当采用所述温控滑台装置进行芯片检测前,先对所述芯片温控装置进行空仓校验,本发明通过不放芯片时温控滑台装置的内部温度对所述加热装置的加热功率进行调节,防止所述芯片温控装置内温度与预设反应模式所需温度差异过大,影响芯片的反应过程。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 芯片 检测 温控 装置 | ||
【主权项】:
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