[发明专利]一种透射反射式数字全息显微系统有效
| 申请号： | 202110560573.X | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113219640B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张旭辉;申文静 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/04;G03H1/00 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 欧志明 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于显微镜技术领域，提供了一种透射反射式数字全息显微系统，包括反射式数字全息显微镜光路和透射式数字全息显微镜光路，所述反射式数字全息显微镜光路为：第一光束经过第一偏振片改变偏振方向，分为两束偏振态垂直的光波，其中水平偏振光经过偏振分束立方体透射形成样品反射的物光光路，垂直偏振光经过所述偏振分束立方体反射形成样品反射的参考光光路；所述透射式数字全息显微镜光路为：第二光束经过第二偏振片改变偏振方向，分为两束偏振态垂直的光波，其中垂直偏振光经过所述偏振分束立方体反射形成样品透射的物光光路，水平偏振光经过所述偏振分束立方体透射形成样品透射的参考光光路。本发明能够同时测试样品的厚度和表面轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 反射 数字 全息 显微 系统 | ||
【主权项】：
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