[发明专利]一种应用于轮辐式超导腔的滚磨抛光方法及装置在审
| 申请号： | 202110561130.2 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113182943A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 周全;贺斐思;潘卫民;翟纪元 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B31/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于轮辐式超导腔的滚磨抛光方法及装置。本方法为：1)对轮辐腔进行超声清洗和测量后进行轮辐腔自转滚磨粗抛，粗抛设定厚度H1后进行步骤2)；其中，自转滚磨粗抛过程中轮辐腔内所用磨料为：洁净水+抛光液+树脂圆锥磨料；2)对轮辐腔自转滚磨细抛，精抛设定厚度H2后进行步骤3)；其中，自转滚磨细抛过程中轮辐腔内所用磨料为：洁净水+800目纯度98％以上的氧化铝粉末+边长5mm木方；3)对轮辐腔自转滚磨精抛设定厚度H3后停止；其中，自转滚磨精抛过程中轮辐腔内所用磨料为：洁净水+40nm的二氧化硅抛光液+边长5mm木方。本发明能有效去除轮辐腔外导体上的缺陷，提高轮辐腔低温超导时的射频性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 轮辐 超导 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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