[发明专利]一种二次电子探头以及高温扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 202110563286.4 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113299529B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;张泽;屠金磊;唐亮;王飞;王晋;张宜旭;刘陵恩 | 申请（专利权）人： | 浙江祺跃科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 史云聪 |
| 地址： | 311500 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种二次电子探头以及高温扫描电子显微镜，二次电子探头包括高压电子管，高压电子管包括相对设置的内收集层和外收集层，外收集层周向角度可调的安装在内收集层上，内收集层和外收集层之间具有间隙，内收集层和外收集层上均分布有若干电子收集孔，内收集层和外收集层上的电子收集孔对应设置，相邻电子收集孔之间具有遮挡部，遮挡部的面积不小于相对设置在内收集层或外收集层上的电子收集孔的面积。常温环境下，内收集层和外收集层上的电子收集孔相对，最大程度的收集二次电子，高温环境下，将外收集层转动到遮挡部将内收集层上的电子收集孔完全遮挡的状态，从而对大量的可见光和红外线进行遮挡，避免可见光和红外线的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次电子 探头 以及 高温 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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