[发明专利]一种螺旋波-离子回旋共振耦合放电系统在审
| 申请号： | 202110564526.2 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113133174A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 苌磊;袁小刚;杨鑫;周海山;罗广南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/46;H05H1/16 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种螺旋波‑离子回旋共振耦合放电系统，结构包括有进气管道(1)、进气密封(2)、螺旋波放电室(3)、放电管(4)、螺旋波天线(5)、隔离板(6)、离子回旋加热室(7)、离子回旋天线(8)、扩散隔板(9)、扩散密封(10)、扩散室(11)、扩散泵口(12)、磁体线圈(13)、天线泵口(14)。本发明系统中实现高密度、高温度等离子体电离激发和加热集成化。等离子体激发天线和加热天线置于真空环境内有效降低天线的功率损失，提高设备操作的安全性，等离子体激发和加热之间设置物理隔离可有效降低两者电磁波的相互干扰，提高等离子体耦合效率。通过调整激发和加热的功率比可控制等离子体电子密度10 |
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| 搜索关键词： | 一种 螺旋 离子 回旋 共振 耦合 放电 系统 | ||
【主权项】：
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