[发明专利]一种单晶炉在审
| 申请号： | 202110568885.5 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113337881A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 宋斐 | 申请（专利权）人： | 宋斐 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座内设有工作腔，所述工作腔内下壁转动设有传动轴，所述传动轴上端面固定设有石墨托盘，所述石墨托盘内摆放设有用于进行单晶硅熔化的坩埚，所述坩埚内设有开口向上的熔化腔，本发明通过在进行单晶材料直拉生长工作时，在工作腔内惰性气体输入过大导致气压增大时通过将进气管道内左右两侧连通的横截面积减少，进而降低输入的惰性气体的速度，进而对工作腔内部达到气压恒定调节的效果，使单晶材料的直拉生长工作效果更好，并通过自动的速度调节使在进行单晶直拉生长工作过程中，提拉的转速维持在一定的速度范围内，进而提高单晶直拉生长的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
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