[发明专利]一种衍射型硅光加速度传感器在审
| 申请号： | 202110570743.2 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113030513A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;俞童 | 申请（专利权）人： | 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/093 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市姑*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种衍射型硅光加速度传感器，光纤在功能上分为了入射光纤和出射光纤，通过读取出射光纤的光强变化，既可以得到加速度信息。当布拉格反射镜阵列和布拉格反射镜的间距是一个光纤发出光线波长时，两个表面反射的光是同相，可视为全反射；当振动发生时，布拉格反射镜阵列和布拉格反射镜距离发生变化，变化1/4个波长时，两个表面的反射为异相，出现相消干涉，从而振动的产生会导致出射光纤的光强度发生变化。布拉格反射镜阵列设置于基底硅基材料上，布拉格反射镜设置于质量块上，结构简单，加工方便，占用空间小，能够通过MEMS制造工艺批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 型硅光 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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