[发明专利]用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的方法及装置有效
| 申请号： | 202110571014.9 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113340222B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 彭小强;关朝亮;胡皓;戴一帆;赖涛;翟德德;罗天聪 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量加载状态下高精度气浮导轨变形的方法及装置，本发明方法包括将一块反射平晶置于导轨工作面上方且与导轨工作面保持45°角，通过波面干涉仪通过反射平晶向加载情况下的气浮导轨的工作面发射干涉激光光束，并将加载情况下的气浮导轨的工作面的面形误差通过反射平晶反射回波面干涉仪接收端，得到加载情况下的气浮导轨的工作面的单个位置的变形，并将各个位置的变形拼接得到气浮导轨全行程的变形测量结果。本发明能够实现使用光学玻璃材料的高精度气浮导轨的变形测量，测量过程简单，测量结果可靠，测量精度高，可方便对高精度导轨的研制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 加载 状态 高精度 导轨 变形 方法 装置 | ||
【主权项】：
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