[发明专利]一种大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置及应用方法有效

专利信息
申请号: 202110571091.4 申请日: 2021-05-25
公开(公告)号: CN113340195B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 戴一帆;彭小强;陈善勇;关朝亮;胡皓;赖涛;罗天聪 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 谭武艺
地址: 410073 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种大行程长条形导轨干涉拼接测量的装置及应用方法,本发明的装置包括气浮平台和分别设于气浮平台上的气浮承载滑动机构及干涉测量机,所述气浮承载滑动机构上设有用于安装采用玻璃制成的被测量的大行程长条形导轨的二维倾斜调整台,所述气浮承载滑动机构一侧设有用于限制气浮承载滑动机构做单轴向直线运动的长条形参考物;本发明的应用方法包括利用气浮承载滑动机构针对被测量的大行程长条形导轨的各个测量位置进行面形误差测量并拼接得到全口径测量结果。本发明结构简单、经济性好、操作方便,可实现大行程长条形导轨的高精度测量,为大行程高精度导轨的研制提供保障。
搜索关键词: 一种 行程 条形 导轨 干涉 拼接 测量 装置 应用 方法
【主权项】:
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