[发明专利]一种提高含钨靶材焊接结合率的方法在审
申请号: | 202110574093.9 | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN113290293A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;赵欣雨 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00;B23K1/08;B23K1/20;C23C14/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种提高含钨靶材焊接结合率的方法,所述方法包括以下步骤:将含钨靶材的焊接面进行清洗处理,然后采用物理气相沉积法对靶材的溅射面进行镀膜,得到镀膜靶材;将镀膜靶材和背板的焊接面上浸润钎料后焊接,得到靶材组件。本发明所述方法针对传统镀膜方法在靶材镀膜上存在的缺陷,采用物理气相沉积法根据特定靶材的特性选择合适的镀膜工艺,使其满足后续浸润及焊接的要求,所得镀膜层致密性高,从而能够提高焊接结合率,得到合格的靶材组件;所述方法操作简单,镀膜品质高,可减少返工,降低成本,应用前景广阔。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 含钨靶材 焊接 结合 方法 | ||
【主权项】:
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