[发明专利]一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202110574655.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113295411B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 刘宏伟;乔伟军;顾艳庆 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/04 | 分类号： | G01M13/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 胡晓静 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法，该装置包括：磁轴承驱动单元、驱动与信号选择通道及综合测量单元，其中，磁轴承驱动单元与分子泵磁轴承的进线端连接，用于将驱动信号输送至分子泵磁轴承，以建立电磁力；驱动与信号选择通道用于接收外部控制信号，并根据外部控制信号切换分子泵磁轴承检测通道；综合测量单元与分子泵磁轴承的出线端连接，用于测量分子泵磁轴承电感值，以利用电感值对分子泵电磁力均衡性进行分析。通过实施本发明，为磁悬浮分子泵产品质量提供数据评价的基础和标准，保证了磁悬浮分子泵处于安全、可靠、稳定的运行状态是非常重要的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 磁轴 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州中科科仪技术发展有限公司，未经苏州中科科仪技术发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110574655.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种伸缩式烘干机
- 下一篇：一种基于方舱式医疗车的负压与连接结构
