[发明专利]一种铌酸锂晶体的新型单畴化工艺在审

专利信息
申请号: 202110575308.9 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN113293442A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 马立强;闫志祥;张世平;马丹阳 申请(专利权)人: 焦作晶锐光电有限公司
主分类号: C30B33/04 分类号: C30B33/04;C30B29/30
代理公司: 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 代理人: 陈湍南
地址: 454000 河南省焦作市山阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明属于晶体加工技术领域的一种铌酸锂晶体的新型单畴化工艺,包括在硅碳棒退火炉中放置直径及高度均大于铌酸锂晶棒30mm的99氧化炉坩埚,将铌酸锂晶棒放置在99氧化铝坩埚中部,在铌酸锂晶棒上、下端均覆盖8~11mm厚多晶料块体层,在上下多晶料块体层上覆盖极性相反的第一电极片和第二电极片,使硅碳棒退火炉的炉温升至1150~1200℃并保温12个小时,保温过程中以铌酸锂晶棒的光轴方向按2mA/cm2施加电流;开始降温并停止施加电流,使硅碳棒退火炉的炉温降至室温。本发明工艺简单,生产成本低,可使铌酸锂晶体的单畴化完成度由60%提高至100%;同时避免了金属离子的侵入和晶体共融问题,晶体光电特性较好。
搜索关键词: 一种 铌酸锂 晶体 新型 化工
【主权项】:
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