[发明专利]垂直腔面发射激光器有效
| 申请号： | 202110576111.7 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113013725B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 丁维遵;翁玮呈;刘嵩;梁栋 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：衬底、外延层、第一电极和焊盘；所述外延层设置有发光区和非发光区，所述第一电极包括同层设置的环形部和连接部，所述环形部设置于邻近所述发光区的非发光区且与所述外延层接触，所述环形部沿所述焊盘方向的所述非发光区延伸形成所述连接部；所述非发光区的外延层设置有沟槽，所述沟槽半环绕所述发光区，且所述沟槽在所述衬底上的正投影，与所述连接部在所述衬底上的正投影不交叠；所述焊盘位于所述非发光区，所述焊盘设置于所述外延层远离所述衬底的一侧并与所述连接部搭接。本发明实施例能够降低垂直腔面发射激光器的寄生电容。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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