[发明专利]墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统在审

专利信息
申请号: 202110576199.2 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN113910773A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 金成昊;张润玉;李贤民;李焌硕;崔光俊 申请(专利权)人: 细美事有限公司
主分类号: B41J2/045 分类号: B41J2/045;B41J3/407;B41J2/01
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 王达佐;王艳春
地址: 韩国忠*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种使用显示有坐标系的基板上的图案来自动测量和校正墨水的撞击点的墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。所述墨水撞击点校正装置包括:识别部,从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息;以及校正部,基于与撞击点有关的信息校正基板上的墨水喷射位置的位置,其中,在多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。
搜索关键词: 墨水 撞击 校正 装置 具有 处理 系统
【主权项】:
暂无信息
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