[发明专利]固态等离体子天线及其制备方法在审
| 申请号： | 202110576616.3 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113314835A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 郭怡彤 | 申请（专利权）人： | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/36 | 分类号： | H01Q1/36;H01L29/868;H01L21/329 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 李迎亚;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供一种固态等离子体天线及其制备方法，属于固态等离体子天线技术领域，其可至少部分解决现有的等离子体天线中的SPIN单元的载流子浓度较低的问题。本发明的固态等离子体天线，包括：衬底基板；设置在衬底基板上的至少一个SPIN单元；其中，所述SPIN单元包括设置在所述衬底基板上的P型半导体区、设置在所述衬底基板上的N型半导体区、设置在所述衬底基板上的本征半导体区；所述P型半导体区、所述N型半导体区、所述本征半导体区同层设置，且所述本征半导体区的载流子浓度大于10 |
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| 搜索关键词： | 固态 离体子 天线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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