[发明专利]一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜与制备方法及应用在审
申请号: | 202110577084.5 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN115094458A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 宋安刚;朱地;王义文;赵保峰;关海滨;徐丹;王树元 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院能源研究所 |
主分类号: | C25B11/052 | 分类号: | C25B11/052;C25B1/04;C25B1/55;C23C14/30;C23C14/58;C25B11/087;C25B11/077 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王磊 |
地址: | 250014 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: |
本发明公开了一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜与制备方法及应用,其制备方法为:通过电子束蒸发方法沉积镍铜复合膜,然后将镍铜复合膜在空气氛围下煅烧获得Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜;其中,电子束蒸发方法沉积过程中同时沉积镍与铜,且在沉积过程中采用冷阴极离子束进行辅助沉积。本发明的方法制备的Cu掺杂NiO薄膜能够进一步降低电阻率,使CuBi |
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搜索关键词: | 一种 cu 掺杂 nio 空穴 传输 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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