[发明专利]一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜与制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202110577084.5 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN115094458A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 宋安刚;朱地;王义文;赵保峰;关海滨;徐丹;王树元 申请(专利权)人: 山东省科学院能源研究所
主分类号: C25B11/052 分类号: C25B11/052;C25B1/04;C25B1/55;C23C14/30;C23C14/58;C25B11/087;C25B11/077
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王磊
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜与制备方法及应用,其制备方法为:通过电子束蒸发方法沉积镍铜复合膜,然后将镍铜复合膜在空气氛围下煅烧获得Cu掺杂NiO空穴传输层薄膜;其中,电子束蒸发方法沉积过程中同时沉积镍与铜,且在沉积过程中采用冷阴极离子束进行辅助沉积。本发明的方法制备的Cu掺杂NiO薄膜能够进一步降低电阻率,使CuBi2O4的光阴极在0.6V条件下的光电密度进一步提高,从而突破CuBi2O4的光阴极在0.6V条件下光电密度的极限。
搜索关键词: 一种 cu 掺杂 nio 空穴 传输 薄膜 制备 方法 应用
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