[发明专利]一种用于超高真空加热炉的测温装置和测温方法在审
申请号: | 202110577131.6 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN113176005A | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 武颖;马严 | 申请(专利权)人: | 中国地震局地质研究所 |
主分类号: | G01K7/02 | 分类号: | G01K7/02;G01K1/14;G01K1/00;F27D11/02;F27D21/00 |
代理公司: | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人: | 刘业芳 |
地址: | 100020*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于超高真空加热炉的测温装置和测温方法,本发明的测温装置包括升降机构、测温机构和信号采集机构,其中,所述升降机构能够在竖直方向上进行升降运动,所述测温机构与所述升降机构连接并基于所述升降机构的升降运动而在竖直方向上移动;所述测温机构与内真空连通,所述测温机构的测温部件放置于所述内坩埚内并用于检测所述内坩埚内的温度;所述测温部件还与所述信号采集机构连接,所述信号采集机构用于采集并显示所述测温部件采集到的信号。本发明测温装置所得的温度数据可真实反映出内坩埚内部的温度;通过测得内坩埚内不同高度处的温度数据,还可得到内坩埚内的温度场分布,反映出内坩埚内部垂直方向上的实际温度分布。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 超高 真空 加热炉 测温 装置 方法 | ||
【主权项】:
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