[发明专利]Lamb波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110577798.6 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113300684A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 赵继聪;吕世涛;诸政;阙正宇;宋晨光;孙海燕 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 李彬彬 |
| 地址： | 226019*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种Lamb波谐振器及其制作方法，制得的Lamb波谐振器包括自下而上依次设置的第一电极结构、压电振动结构、第二电极结构和掩膜结构；其中，所述第二电极结构为叉指电极，所述压电振动结构的边缘倾角均呈90°，所述掩膜结构为二氧化硅掩膜，所述二氧化硅掩膜同时覆盖叉指电极的外表面和未被叉指电极覆盖的压电振动结构的上表面。本发明实施例的采用二氧化硅作为压电振动结构的掩膜结构的解决方案，使得制备的压电振动结构的边缘倾角能够呈90°角，大幅提高了Lamb波谐振器的品质因数，优化了Lamb波谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | lamb 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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