[发明专利]一种ITO废料的回收加工方法有效
| 申请号： | 202110582290.5 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113233873B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘文杰;钟小华;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种ITO废料的回收加工方法。本发明所述方法为：将ITO废料依次经过脱脂烧结，第一次烧结，均质混料，第二次烧结得到所述ITO靶材；所述均质混料为将ITO粗粉和ITO细粉进行混料后，加入粘结剂搅拌均匀静置得到混合物料。本发明将ITO废料从新回收加工为新的高密度低电阻率的ITO靶材，节约资源，降低生产成本，且本发明将ITO粗粉和ITO细粉混合，增加ITO粉料的粒度分布，使ITO靶材内部存在孔隙，避免ITO靶材在蒸镀过程中加热开裂。通过本发明所述回收加工方法制备的ITO靶材密度为4.42～4.58g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 ito 废料 回收 加工 方法 | ||
【主权项】：
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