[发明专利]在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜及其制备有效
申请号: | 202110586628.4 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN113322511B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 闻利杰;杨永杰;芦增星;汪志明;郝险峰;郭媛媛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;燕山大学;辽宁科技大学 |
主分类号: | C30B23/02 | 分类号: | C30B23/02;C30B29/22;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/58 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜及其制备方法,包括:在晶向为[001]、[110]或[111]的衬底上依次制备可溶性牺牲层薄膜、SrRuO |
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搜索关键词: | 不同 向下 具有 垂直 各向异性 柔性 支撑 钙钛矿 氧化物 薄膜 及其 制备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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