[发明专利]基于PDMS的峰值连续可变导模共振滤光片及制备方法有效
| 申请号： | 202110587627.1 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113391388B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 王康妮;崔涛;许亚芳 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/28 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PDMS的峰值连续可变导模共振滤光片及制备方法，包括上部薄膜波导层、中间变间距光栅层和下部PDMS基底，下部PDMS基底的厚度沿光栅周期渐变方向渐变，上部薄膜波导层的折射率大于中间变间距光栅层等效折射率和下部PDMS基底折射率。线偏振宽光以一定角度入射该结构时，反射光谱的特定位置能获得高效率的导模共振峰。在厚度渐变的矩形PDMS基底上制备变间距光栅，使不同的高级衍射光与导模发生耦合，获得导模共振特征频率，最终沿光栅周期变化方向实现导模共振反射峰值的连续变化，即在结构的不同位置实现对不同波长的滤波，是一种随空间位置变化的可变滤光结构。本发明结构及其制备过程简单、设备要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pdms 峰值 连续 可变 共振 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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