[发明专利]一种柔性覆铜膜及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202110588519.6 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113421697B 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 沈奕;陈玉云;余荣;吕岳敏 申请(专利权)人: 汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器(二厂)有限公司;汕头超声显示器有限公司
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B13/00;H05K1/03;H05K3/02;H05K3/06;C23C14/20;C23C14/35;C23C28/02;C25D3/38;C25D5/56
代理公司: 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 代理人: 陈烨彬;卢梓雄
地址: 515000 广东省汕头市龙湖区龙江*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种柔性覆铜膜及其制造方法,柔性覆铜膜包括基材层和铜金属层,铜金属层覆合在基材层一表面上,基材层为含氟的聚酰亚胺膜,聚酰亚胺膜与铜金属层之间设有镍合金层。该柔性覆铜膜的制造方法包括如下步骤:(1)、在玻璃基板上设置一层含氟的聚酰亚胺膜;(2)、在真空环境下采用氧等离子体清洗并活化聚酰亚胺膜表面,使得聚酰亚胺膜表面出现悬键;(3)、在聚酰亚胺膜表面沉积镍合金层,界面的镍原子与氟离子结合形成氟化镍;(4)、在镍合金层表面沉积铜金属层,得到柔性覆铜膜;(5)、将柔性覆铜膜从玻璃基板上剥离。本发明能够制作出既耐高温且柔软性好的柔性覆铜膜,并防止氧化镍出现,可确保后续铜膜电路加工的顺利进行。
搜索关键词: 一种 柔性 覆铜膜 及其 制造 方法
【主权项】:
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