[发明专利]PERC太阳能电池的背膜结构、制备方法、太阳能电池及组件在审
| 申请号： | 202110589700.9 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113373426A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨苏平;吴疆;谢新明;盛健;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人： | 广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/02;C23C16/505;H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 528000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用太阳能电池技术领域，提供了一种PERC太阳能电池的背膜结构、制备方法、太阳能电池及组件，该PERC太阳能电池的背膜结构包括自硅片基底的背面从上至下依次形成的第一氮氧化硅层、氮化硅层、第二氮氧化硅层以及氧化硅层；氮化硅层由至少两层氮化硅膜组成，且各层氮化硅膜的折射率从上至下依次降低。本发明提供的一种PERC太阳能电池的背膜结构无需用到TMA材料进行制备，从而可以大大降低PERC太阳能电池生产成本；同时，利用氮化硅层的折射率从上至下呈现由高到低的变化，可充分提高PERC太阳能电池背面的光入射率，增加PERC太阳能电池背面的光吸收，从而提高PERC太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | perc 太阳能电池 膜结构 制备 方法 组件 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
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