[发明专利]一种大行程压电精密位移平台与控制方法在审

专利信息
申请号: 202110591211.7 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113285629A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 王馗沣;李轩;孙强;陈炜威;吴浩翔;魏大禹;黄虎 申请(专利权)人: 王馗沣
主分类号: H02N2/04 分类号: H02N2/04;H02N2/02;H02N2/06
代理公司: 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 代理人: 李荣武
地址: 130000 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及一种大行程压电精密位移平台与控制方法,属于精密机械领域。该位移平台由基座、导轨a、动子a、导轨b、动子b和载物台组成。导轨a和导轨b固定连接在基座上;动子a通过滑块a安装在导轨a上;动子b通过滑块b安装在导轨b上;载物台固定连接在动子a的过渡板a和动子b的过渡板b上。该位移平台基于粘滑原理和压电驱动技术设计,具有结构简单、响应快、控制方便、定位精度高、行程大等特点,且采用动子与驱动机构一体结合的结构,克服了现有压电驱动器行程有限的问题,在较大行程范围内具备稳定的驱动能力。可用于精密测量、精密光学、微观力学性能测试、生物医学工程等领域。
搜索关键词: 一种 行程 压电 精密 位移 平台 控制 方法
【主权项】:
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