[发明专利]大晶片多点频率测量机在审
| 申请号： | 202110593007.9 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113333309A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 任波 | 申请（专利权）人： | 深圳市铭盛鑫自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/344;B07C5/36 |
| 代理公司： | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人： | 郭晓宇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了大晶片多点频率测量机，包括底座，以及设置于底座上的送料机构、送料手臂、测量机构、分杯机构、分杯底座、显示屏及晶片；所述送料机构包括第一交叉滚柱型Z轴滑台，所述第一交叉滚柱型Z轴滑台上设置有第一交叉滚柱型X轴滑台，所述第一交叉滚柱型X轴滑台上设置有气动滑台，所述气动滑台上设置有送料吸板，所述送料吸板上设置有料夹，所述料夹下设置有厚度调节装置，所述厚度调节装置上设置有微分计；本石英晶片三点频率自动测量机采用3点的多点的频率扫描原理直接测量晶片不同位置的频率，分析出石英晶片的频率散差，从中挑选出合格的晶片，具有精度高、速度快、节约人工等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 多点 频率 测量 | ||
【主权项】：
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