[发明专利]一种单晶炉用自动上料车有效
| 申请号： | 202110593172.4 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113308746B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 谭鑫;陈立民;赵亮;姜君 | 申请（专利权）人： | 曲靖阳光新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 李冰 |
| 地址： | 655000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉用自动上料车，包括：行走小车；机械手，所述机械手安装于所述行走小车上；坩埚吸盘单元，所述坩埚吸盘单元安装于所述机械手前端；视频采集单元，所述视频采集单元安装于所述行走小车上，所述视频采集单元用于采集行走小车行走方向前端的视频信息；真空泵，所述真空泵安装于所述行走小车上，所述真空泵通过网纹管与坩埚吸盘单元连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉用 自动 上料车 | ||
【主权项】：
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