[发明专利]一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用有效
| 申请号： | 202110595003.4 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113322451B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张磊;何悦;王在发;任勇;孙龙华 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/511 | 分类号： | C23C16/511;C23C16/40;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 322118 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用。所述沉积方法包括：(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理，所述预处理包括：升温后通入笑气及三甲基铝，并恒定压力；(2)在微波条件下，继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积，得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。本发明通过在沉积氧化铝钝化膜之前，同时通入笑气(一氧化二氮)和三甲基铝(TMA)进行恒压稳定，这样可以保证炉尾有足够多的反应气体，这样可以提高沉积得到的氧化铝钝化膜的均匀性，同时减轻了EL两侧发暗的程度，进而提升了电池的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 氧化铝 钝化 及其 沉积 方法 应用 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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