[发明专利]基于大数据的等径SOP设定方法、系统、设备和存储介质

摘要

基于大数据的等径SOP设定方法、系统、设备和存储介质，通过对单晶拉制等径过程中等径节点的基础源数据进行处理、筛选、转换为等径节点中易于识别和标记的若干数据集并建立模型，进行分析计算和拟合优化，获取等径过程中最优生长速率模型；获取等径节点的相对液口距的基础源数据；筛选并转换为易于识别和标记的工艺参数；获取当前节点的生长速率，将生长速率与最优生长速率模型进行对比，根据对比结果对生长速率或主加热器功率进行调节。本发明技术方案可有效地在大数据与深度学习中进行等径SOP的方法设定，利用大数据分析并执行优化方案，将大数据与深度学习进行有机结合，实现等径SOP模型的自优化，提高等径SOP的制定和修订效率，降低成本。