[发明专利]用于光刻胶喷嘴的封堵接头有效
| 申请号： | 202110596139.7 | 申请日： | 2021-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN113457894B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 周洪 | 申请（专利权）人： | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/50 | 分类号： | B05B15/50;B05C5/02;G03F7/16 |
| 代理公司： | 长沙柳腾知识产权代理事务所(普通合伙) 43267 | 代理人： | 唐冬艳 |
| 地址： | 064100 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一沉孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述安装座设置于封堵座上，所述第一沉孔的底部开设有与堵头密封配合的通孔，所述堵头安装于通孔内，所述安装座上开设有用于安装弹性件并与通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述弹性件设置于堵头与盖板之间；其中，在对喷嘴封堵时，所述第一沉孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。通过封堵机构对喷嘴口部进行封堵，不仅避免喷嘴内的光刻胶外漏而造成污染、光刻胶的浪费，还具有隔绝空气、泄压的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 喷嘴 封堵 接头 | ||
【主权项】：
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