[发明专利]薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和显示面板有效
| 申请号： | 202110598077.3 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113345968B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 罗成志 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法和显示面板，该薄膜晶体管包括：基板；催化部，所述催化部设置在所述基板上；有源层，所述有源层设置在所述基板上并与所述催化部接触，所述有源层的组成材料包括单晶硅和/或多晶硅。该方案在采用非晶硅制备有源层的过程中，无需采用准分子激光退火，可以经催化部的催化得到单晶硅和/或多晶硅，从而制备的薄膜晶体管可以应用于大尺寸显示面板，提高了薄膜晶体管的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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